In seiner jüngsten Ankündigung gibt Canon bekannt, dass das Unternehmen nicht nur in diesem Jahr mit der Auslieferung solcher Geräte beginnen wird, sondern auch erwartet, im Laufe der Zeit die 2-nm-Nanodrucktechnologie zu beherrschen.
Canons 5-nm-Chipherstellungsmaschine ist zehnmal billiger als die von ASML
Bei der konventionellen Fotolithografie werden die Umrisse einer Schaltung auf ein Siliziumsubstrat gezeichnet, indem ein Bild durch eine Fotomaske projiziert und anschließend die nicht durch das optische Material geschützten Teile des Kristalls weggeätzt werden. Die Technologie von Canon nutzt den Nanodruck der Schaltungsumrisse auf Silizium. Im Vergleich zur konventionellen Fotolithografie, die heute hauptsächlich bei der Herstellung von 3D-NAND-Speicherchips eingesetzt wird, ermöglicht sie bis zu zehnmal höhere Kosten und eine Reduzierung der Energiekosten um 90 %.
Laut einem Vertreter des japanischen Unternehmens sei die Technologie bereit für die Massenproduktion, und die Auslieferung spezieller Geräte an Kunden werde noch in diesem Jahr beginnen. Canons Technologie werde die Extrem-Ultraviolett-Lithografie (EUV) jedoch nicht industriell ersetzen, sondern lediglich eine unterstützende und kostengünstigere Lösung darstellen.
Das Problem besteht darin, dass Canons Bereitschaft, noch in diesem Jahr 5-nm-Chipfertigungsmaschinen zu liefern, angesichts der Verzögerungen auf dem Markt für Fotolithografie-Geräte von über einem Jahr die Aufmerksamkeit der Kunden auf sich ziehen dürfte. Eine Einschränkung, die Canon hinsichtlich seines Systems anführte, ist die hohe Fehlerquote, die laut Experten 10 % nicht überschreiten darf, um als kommerziell attraktiv zu gelten.
Canon strebt außerdem die 2-nm-Nanochip-Drucktechnologie an. Dafür wird das Unternehmen auf zusätzliche Geräte zurückgreifen müssen, die Anpassung ist jedoch nicht signifikant.
Die Frage ist, ob chinesische Kunden solche Geräte von Canon kaufen können. So einfach ist die Sache nicht. Zum einen verwendet Canon keine in den USA hergestellten Komponenten und Technologien, sodass die US-Regierung dem japanischen Unternehmen keine Exportbeschränkungen auferlegen kann. Zum anderen sind Japans Exportbeschränkungen gegenüber China viel umfassender als die der USA. Daher ist der Zugang chinesischer Unternehmen zu Canons Nanodruckern ungewiss.
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