Anfang September kündigte die niederländische Ministerin für Außenhandel und Entwicklung, Reinette Klever, eine Änderung der Exportkontrollen an. Demnach müsse der Halbleitermaschinenhersteller ASML eine Lizenz beantragen, um seine Fotolithografiemaschinen DUV 1970i und 1980i an Kunden in China verkaufen zu dürfen.

Darüber hinaus muss ASML Servicelizenzen erwerben sowie Ersatzteile und Software-Updates für eingebettete Lithografiemaschinen bereitstellen, die zuvor an chinesische Kunden verkauft wurden.

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ASML-Hauptsitz und Fabrik in den Niederlanden. Foto: Bloomberg

Ziel des Schritts ist es, die niederländischen Vorschriften an die verschärften US-Handelsbeschränkungen anzupassen, die im November 2023 in Kraft treten sollen und sich aus Gründen der nationalen Sicherheit gegen China richten. Die Beschränkungen Washingtons betreffen die Fotolithografiemaschinen der Baureihen 1970i und 1980i.

Das chinesische Handelsministerium bekräftigte, dass „China sich entschieden dagegen wehrt“.

Die regulatorische Änderung sei technischer Natur und habe keinen Einfluss auf die Finanzaussichten dieses Jahres, teilte ASML in einer Erklärung mit.

Wartungsdienste sind entscheidend für die Produktivität in Halbleiterfabriken. Wartungstechniker müssen bei Maschinenausfällen rund um die Uhr erreichbar sein. In China ist der 1980i laut Halbleiterexperten aufgrund seiner Vielseitigkeit ein bewährtes Gerät vieler Chipfabriken.

Die kurzfristigen Auswirkungen des Verlusts des Zugangs zu Wartungsdienstleistungen auf die Chipindustrie sind laut einer ASML-nahen Quelle erheblich. Shen Bo, Chef von ASML China, sagte in einem Interview mit China Daily im September 2023, dass ASML seit seinem Markteintritt 1988 dort mehr als 1.000 Maschinen installiert habe, darunter Lithografiewerkzeuge und Inspektionslösungen. ASML gab nicht bekannt, wie viele Maschinen den niederländischen Exportbeschränkungen unterliegen.

Die Wartung ist jedoch ein kleineres Problem als der Mangel an neuen, modernen Lithografiemaschinen. Die Wartung und die Beschaffung von Ersatzteilen seien vergleichsweise einfacher als der Bau von Lithografiesystemen von Grund auf, heißt es aus dem Umfeld von ASML.

Seit 2019 unterliegen auf dem chinesischen Festland, dem zweitgrößten Markt von ASML (gemessen am Umsatz im Jahr 2023), verstärkte Exportkontrollen für Lithografiesysteme.

Die Niederlande haben ASML verboten, seine modernsten EUV-Lithografiemaschinen – die zur Herstellung von Chips unter 7 nm verwendet werden – und eingebetteten DUV-Lithografiemaschinen, darunter die 2100i, 2050i, 2000i, 1970i und 1980i, ohne Lizenz nach China zu verkaufen.

Bestehende Lizenzen für chinesische Unternehmen auf der schwarzen Liste werden nicht verlängert, und zukünftige Anträge werden abgelehnt, so Paul Van Gerven, Herausgeber des niederländischen Technologiemagazins Bits & Chips. Trockene UV-Drucker – Geräte älterer Generation, die beim Drucken komplexer Leiterplatten auf Siliziumwafer Luft statt Wasser verwenden, um die Auflösung zu verbessern – unterliegen derzeit nicht den Beschränkungen, fügte Van Gerven hinzu.

Die Lieferungen von ASML nach Festlandchina beliefen sich im zweiten Quartal auf 2,35 Milliarden Euro, was fast der Hälfte des weltweiten Umsatzes entspricht. Aus dem Geschäftsbericht 2023 geht hervor, dass das Unternehmen aufgrund eines Auftragsrückstands nur 50 % seiner Bestellungen aus China erfüllen konnte.

(Laut SCMP, Silizium)