9월 초, 네덜란드 외무통상부 장관 레이네트 클레버는 수출 통제 변경안을 발표하면서, 반도체 장비 제조업체 ASML이 중국 고객에게 DUV 1970i 및 1980i 포토리소그래피 장비를 판매하려면 라이선스를 신청해야 한다고 밝혔습니다.

또한 ASML은 이전에 중국 고객에게 판매된 내장형 리소그래피 장비에 대한 서비스 라이선스를 취득하고, 예비 부품과 소프트웨어 업데이트를 제공해야 합니다.

viy5vawd.png
네덜란드에 있는 ASML 본사와 공장. 사진: 블룸버그

이번 조치는 네덜란드의 규정을 2023년 11월 발효 예정인 미국의 더욱 엄격한 무역 규제와 연계하려는 것으로, 국가 안보 차원에서 중국을 겨냥하고 있습니다. 워싱턴의 규제 대상에는 1970년대와 1980년대의 사진용 평판 인쇄 기계가 포함됩니다.

중국 상무부는 "중국은 이에 강력히 반대한다"고 밝혔습니다.

ASML은 성명을 통해 규제 변경은 기술적인 문제이며 올해의 재무 전망에 영향을 미치지 않는다고 밝혔습니다.

반도체 공장의 생산성 유지에는 유지보수 서비스가 필수적입니다. 유지보수 엔지니어는 장비 고장 발생 시 24시간 연중무휴 대기해야 합니다. 반도체 전문가들에 따르면, 중국에서는 1980i가 다재다능한 성능 덕분에 많은 칩 공장에서 신뢰받는 장비입니다.

ASML 관계자에 따르면, 유지보수 서비스 이용 중단으로 인한 칩 산업의 단기적 영향은 상당할 것으로 예상됩니다. ASML 차이나의 션 보 대표는 2023년 9월 차이나 데일리와의 인터뷰에서 ASML이 1988년 중국 시장에 진출한 이후 리소그래피 장비와 검사 솔루션을 포함하여 1,000대 이상의 장비를 중국에 설치했다고 밝혔습니다. ASML은 네덜란드의 수출 제한 조치 대상 장비의 수를 공개하지 않았습니다.

하지만 유지보수는 새로운 첨단 리소그래피 장비 부족에 비하면 작은 문제입니다. ASML 관계자에 따르면, 유지보수와 예비 부품 확보는 리소그래피 시스템을 처음부터 구축하는 것보다 비교적 쉽다고 합니다.

2023년 수익 기준으로 ASML의 두 번째로 큰 시장이 될 중국 본토는 2019년부터 리소그래피 시스템에 대한 수출 통제가 강화되었습니다.

네덜란드는 ASML이 7nm 이하의 칩 제조에 사용되는 최첨단 EUV 리소그래피 기계와 2100i, 2050i, 2000i, 1970i, 1980i 등 내장형 DUV 리소그래피 기계를 허가 없이 중국에 판매하는 것을 금지했습니다.

네덜란드 기술 전문지 비츠 앤 칩스(Bits & Chips)의 편집장 폴 반 게르벤(Paul Van Gerven)에 따르면, 블랙리스트에 오른 중국 기업의 기존 면허는 갱신되지 않으며 향후 신청도 거부될 예정입니다. 반 게르벤은 실리콘 웨이퍼에 복잡한 회로 기판을 인쇄할 때 물 대신 공기를 사용하여 해상도를 향상시키는 구형 기계인 건식 UV 프린터는 현재 이러한 제한 대상이 아니라고 덧붙였습니다.

ASML의 2분기 중국 본토 출하량은 23억 5천만 유로로, 전 세계 매출의 거의 절반에 달했습니다. 2023년 연례 보고서에 따르면, ASML은 중국 주문의 50%만 처리했으며, 이는 적체로 인해 불가능한 것으로 나타났습니다.

(SCMP에 따르면 실리콘)